[发明专利]一种光伏玻璃镀膜制程腔气体导入装置无效
| 申请号： | 201110455950.X | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN103184418A | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明系提供一种光伏玻璃镀膜制程腔气体导入装置，主要包含：一反应制程腔体、一气体导引管路、一导引管路框架所组成，通过外接入之气体透过气体导引管所设置的气体导入接头进入，气体导引管路上设有依照气体导入管路长度分布平均的小孔作为气体喷出口，形成一侧边向下喷出的动作，导引管路框架支撑气体导引管路，使其能水平置放于导引管路框架上，使得制成气体能有效集中于反应区，完成一种光伏玻璃镀膜制程腔气体导入装置，藉此，可达到有效均匀分布气体于镀膜制程腔内部，完成均匀分布之电浆粒子内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 镀膜 制程腔 气体 导入 装置 | ||
【主权项】：
一种光伏玻璃镀膜制程腔气体导入装置，主要包含：一反应制程腔体、一气体导引管路、一导引管路框架所组成，通过外接入之气体透过气体导引管所设置的气体导入接头进入，气体导引管路上设有依照气体导入管路长度分布平均的小孔作为气体喷出口，形成一侧边向下喷出的动作，导引管路框架支撑气体导引管路，使其能水平置放于导引管路框架上，使得制成气体能有效集中于反应区，完成一种光伏玻璃镀膜制程腔气体导入装置，藉此，可达到有效均匀分布气体于镀膜制程腔内部，完成均匀分布之电浆粒子内。
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