[实用新型]手动式晶圆拾放器有效
| 申请号： | 201120031411.9 | 申请日： | 2011-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN201961836U | 公开（公告）日： | 2011-09-07 |
| 发明（设计）人： | 沙酉鹤 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆拾放器。这种手动式晶圆拾放器，包括吸附膜、固定机构和操作机构，所述吸附膜是圆形的且具有弹性，所述固定机构架设于吸附膜背面的上方，所述操作机构设于吸附膜和固定机构之间，所述操作机构包括圆形板、拉杆和伸缩件，所述圆形板设于所述吸附膜的中部，所述拉杆的一端连接于所述圆形板的中部，另一端与所述伸缩件的一端连接，所述伸缩件的另一端连接于所述固定机构。通过使用该手动式晶圆拾放器可以避免手接触晶圆，从而减少手接触晶圆引发的污染和划伤晶圆现象产生，进而有效保护晶圆。而且，手动式晶圆拾放器的吸附膜可以直接利用CMP工艺中废弃的膜，因此，可以实现就地取材，有效降低了制造成本和难度。 | ||
| 搜索关键词： | 手动式 晶圆拾放器 | ||
【主权项】：
一种手动式晶圆拾放器，其特征在于，包括吸附膜、固定机构和操作机构，所述吸附膜是圆形的且具有弹性，所述固定机构架设于所述吸附膜背面的上方，所述操作机构设于所述吸附膜和所述固定机构之间，所述操作机构包括圆形板、拉杆和伸缩件，所述圆形板设于所述吸附膜的中部，所述拉杆的一端连接于所述圆形板的中部，另一端与所述伸缩件的一端连接，所述伸缩件的另一端连接于所述固定机构。
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