[实用新型]一种酸翻涌清洗晶片装置有效
| 申请号： | 201120122988.0 | 申请日： | 2011-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN202039165U | 公开（公告）日： | 2011-11-16 |
| 发明（设计）人： | 张朝辉;姚志武;毕银山 | 申请（专利权）人： | 唐山晶玉科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B35/00 |
| 代理公司： | 唐山顺诚专利事务所 13106 | 代理人： | 于文顺 |
| 地址： | 064106 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种酸翻涌清洗晶片装置，属于晶片腐蚀设备技术领域。技术方案是包含腐蚀液桶（3）、循环泵（1）、喷头，在腐蚀液桶的底部设置喷头（5、6、7），喷头与循环泵叶轮连接。本实用新型的有益效果：由于在腐蚀机酸翻涌搅动的同时，使得清洗槽中的酸不断地上下左右循环起来，使得酸液的温度始终精确控制在±1℃范围，并使晶片在翻涌对流状态下全部分散开来，晶片和腐蚀液均匀的接触，保证了晶片腐蚀质量一致、晶片频率一致；同时保证了一次腐蚀量的大幅度提高，保证了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 翻涌 清洗 晶片 装置 | ||
【主权项】：
一种酸翻涌清洗晶片装置，其特征在于包含腐蚀液桶（3）、循环泵（1）、喷头，在腐蚀液桶的底部设置喷头（5、6、7），喷头与循环泵叶轮连接。
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