[实用新型]带有排气处理设备的干膜制造系统有效
| 申请号： | 201120136913.8 | 申请日： | 2011-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN202141887U | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 坪井厚夫 | 申请（专利权）人： | 旭化成电子材料株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种干膜制造系统。在干膜的制造流程中，即使在排气处理装置中产生事故也不会导致生产性降低，且能降低CO2的排出量，并能对使用过的溶剂进行再利用。该干膜制造系统具有：涂敷设备，其用于将含有溶剂的感光性树脂组合物溶液涂敷到载体膜上；干燥设备，其用于从该涂敷后的感光性树脂组合物溶液中产生含有溶剂的排气；至少不同的两种以上的排气处理设备，其用于对上述排气进行处理；其特征在于：不同的两种以上的排气处理设备和上述干燥设备相连接。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 排气 处理 设备 制造 系统 | ||
【主权项】：
一种干膜制造系统，其特征在于，至少具有：涂敷设备，其用于将含有溶剂的溶液涂敷到载体膜上；干燥设备，其用于使溶剂从该涂敷后的溶液中挥发出来；两种以上的排气处理设备，其用于对从上述干燥设备中产生的排气中的溶剂成分进行处理。
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