[实用新型]样品夹持工具有效
| 申请号： | 201120160527.2 | 申请日： | 2011-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN202057616U | 公开（公告）日： | 2011-11-30 |
| 发明（设计）人： | 陈卉;谢涛;李德勇;胡强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/20 | 分类号： | G01N23/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种样品夹持工具，固定于样品支座上，包括：第一环状体固定件，固定于样品支座上，所述第一环状体固定件内周面一侧设置有卡持部；环状体卡持件，通过所述卡持部套设于所述第一环状体固定件内周面中，所述环状体卡持件相对于所述第一环状体固定件能够旋转；第二环状体固定件，贴套于所述环状体卡持件，所述第二环状体固定件外周面与环状体卡持件内周面相适配；样品放置件，被固定于所述环状体卡持件与所述第二环状体固定件之间。本实用新型所述样品夹持工具，将TEM样品放置于样品放置件后进行安装过程时，减少样品放置件的旋转，从而保证样品放置件在水平方向达到最佳位置，从而提高TEM样品测试的效率和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 夹持 工具 | ||
【主权项】：
一种样品夹持工具，固定于样品支座上，其特征在于，包括：第一环状体固定件，固定于所述样品支座上，所述第一环状体固定件的内周面一侧设置有卡持部；环状体卡持件，通过所述卡持部套设于所述第一环状体固定件中，所述环状体卡持件能够相对所述第一环状体固定件旋转；第二环状体固定件，套设于所述环状体卡持件中，所述第二环状体固定件的外径与环状体卡持件的内径相适配；样品放置件，套设于所述环状体卡持件内周面上，所述第二环状体固定件部分压覆于所述样品放置件上。
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