[实用新型]液态源汽化装置有效
| 申请号： | 201120160974.8 | 申请日： | 2011-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN202074230U | 公开（公告）日： | 2011-12-14 |
| 发明（设计）人： | 李东升;龚小雷;张敏 | 申请（专利权）人： | 上海正帆科技有限公司;上海正帆超净技术有限公司;上海正帆半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F17C7/04 | 分类号： | F17C7/04 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 201108 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种液态源汽化装置，包括汽化容器，其中，所述汽化容器顶部开孔插有鼓泡管路、压力表和液位计，所述汽化容器设有内部电加热棒和外部加热器，所述汽化容器出口处设置有质量流量计和蒸汽出口阀门。本实用新型提供的液态源汽化装置，通过设置鼓泡管路、内部电加热棒和外部加热器，使用流量控制模块、压力控制装置和温度控制装置共同调节汽化容器输出的气体量，根据用气量切换蒸发和鼓泡模式，使系统同时适用于不同用量的液态源汽化系统，大大改善了可操作性和灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 液态 汽化 装置 | ||
【主权项】：
一种液态源汽化装置，包括汽化容器（1），其特征在于，所述汽化容器（1）顶部开孔插有鼓泡管路（10）、压力表（11）和液位计（12），所述汽化容器（1）设有内部电加热棒（13）和外部加热器（14），所述汽化容器（1）出口处设置有质量流量计（4）和蒸汽出口阀门（5）。
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