[实用新型]可循环的显影系统有效
| 申请号： | 201120177693.3 | 申请日： | 2011-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN202067074U | 公开（公告）日： | 2011-12-07 |
| 发明（设计）人： | 颜强 | 申请（专利权）人： | 广西钦州天山微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107 | 代理人： | 苏家达 |
| 地址： | 535413 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种可循环的显影系统，包括显影槽和加热槽，显影槽通过水泵管路连通加热槽，加热槽通过溢流口连通显影槽而形成碱液在显影槽与加热槽之间的外循环，所述显影槽两侧隔离出对流槽，两对流槽相对的槽面上开设均匀布置的对流孔，两对流槽之间通过水泵管路连通形成碱液在显影槽内的内循环。本实用新型在传统碱液外循环基础上增加了显影槽内部的碱液内循环，在保持碱液外循环强度和加热温度不变的情况下，加快了内部碱液的流动加速，提高了冲刷力度，增加了碱液温度，保证了显影质量。 | ||
| 搜索关键词： | 循环 显影 系统 | ||
【主权项】：
可循环的显影系统，包括显影槽(1)和加热槽(2)，显影槽(1)通过水泵管路连通加热槽(2)，加热槽(2)通过溢流口(8)连通显影槽(1)而形成碱液在显影槽(1)与加热槽(2)之间的外循环，其特征在于：所述显影槽(1)两侧隔离出对流槽(3)，两对流槽(3)相对的槽面上开设均匀布置的对流孔(4)，两对流槽(3)之间通过水泵管路连通形成碱液在显影槽(1)内的内循环。
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