[实用新型]一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽有效
| 申请号： | 201120181416.X | 申请日： | 2011-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN202180066U | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 蔺文;贺鹏 | 申请（专利权）人： | 西安华晶电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 710077 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，包括内部装有清洗液的清洗槽、安装在清洗槽内且供被清洗的多个托板紧固安装的安装支架和对多个所述托板进行清洗的超声波清洗装置，所述超声波清洗装置布设于清洗槽内，且安装在安装支架上的多个所述托板呈平行布设。本实用新型结构简单、加工制作方便且清洗速度快、清洗效果好，能有效解决现有超声清洗槽沿对角线放置时存在的一次同时放入槽体内的托板数量有限、清洗效率较低、清洗效果不佳、资源浪费较严重、影响后续生产工艺等多种实际问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅晶圆多线 切割 用粘棒托板 超声 清洗 | ||
【主权项】：
一种硅晶圆多线切割用粘棒托板超声清洗槽，其特征在于：包括内部装有清洗液的清洗槽(1)、安装在清洗槽(1)内且供被清洗的多个托板紧固安装的安装支架和对多个所述托板进行清洗的超声波清洗装置，所述超声波清洗装置布设于清洗槽(1)内。
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