[实用新型]利用基板对位孔测量基板变形量的测量装置

摘要

本实用新型公开了一种利用基板对位孔测量基板变形量的测量装置，包括一承载平台，该承载平台的顶面供承载一基板，该基板邻近其四边中央的位置上分别开设一对位孔；一透明板体，设在承载平台的上方，透明板体邻近其四边中央的位置分别设一基准图样，透明板体的底面抵靠在基板的顶面；及四部影像检索单元，设在透明板体的上方，分别对应于各该基准图样的位置，各该影像检索单元分别对各该基准图样及各该对位孔进行拍摄，以分别取得一测量影像。本实用新型以透明板体四边中央的基准图样，对应于基板四边中央的各对位孔，各对位孔不会过度远离各基准图样，各影像检索单元不需作任何移动，便能拍摄到各该对位孔及基准图样，大幅提升测量作业的效率。

主权项

一种利用基板对位孔测量基板变形量的测量装置，其特征在于包括：一承载平台，该承载平台的顶面供承载一基板，其中该基板邻近其四边中央的位置上分别开设有一对位孔；一透明板体，设置在该承载平台的上方，该透明板体邻近其四边中央的位置分别设有一基准图样，该透明板体的底面能抵靠在该基板的顶面；及四部影像检索单元，设在该透明板体的上方，且分别对应于各该基准图样的位置，各该影像检索单元分别对各该基准图样及各该对位孔进行拍摄，以分别取得一测量影像。