[实用新型]一种太阳电池扩散工艺的尾排装置有效
| 申请号： | 201120193126.7 | 申请日： | 2011-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN202148370U | 公开（公告）日： | 2012-02-22 |
| 发明（设计）人： | 王程杰;梁兴芳;许新湖 | 申请（专利权）人： | 阳光大地（福建）新能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 泉州市文华专利代理有限公司 35205 | 代理人： | 陈智海 |
| 地址： | 362300 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种太阳电池扩散工艺的尾排装置，其包括有连通管、尾排箱及主管道，上述连通管的一端贯穿入石英炉管内，另一端与上述尾排箱的输入端相连通，上述尾排箱的输出端与上述主管道间连接有一带有控制阀的管路，上述控制阀包括有一蝶阀和连接于该蝶阀与上述主管道间的球阀；本案在调节尾气排风时，由蝶阀对石英炉管及相应管路段进行排量控制，而主管道与蝶阀间还设有密封性较好的球阀，借由球阀的控制作用，可以大大削弱排风量较大的主管道经由管路对石英炉管产生的不稳定影响，由此增强了控制阀在尾排调节上的精确度，确保了石英炉管内所需的工艺反应氛围及所得电池性能上的优良性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳电池 扩散 工艺 装置 | ||
【主权项】：
一种太阳电池扩散工艺的尾排装置，其包括有连通管、尾排箱及主管道，上述连通管的一端贯穿入石英炉管内，另一端与上述尾排箱的输入端相连通，上述尾排箱的输出端与上述主管道间连接有一带有控制阀的管路，其特征在于：上述控制阀包括有一蝶阀和连接于该蝶阀与上述主管道间的球阀。
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