[实用新型]片式频率器件芯片电性能测试夹持装置

摘要

一种片式频率器件芯片电性能测试夹持装置，包括电极板(1)、安装板(2)和真空连接头(3)，电极板的上表面有一对电极片(5)和一对引出电极(7)，电极片的宽度与被测试的片式频率器件芯片的电极的宽度相接近，两电极片之间的间距与被测试的片式频率器件芯片的电极之间的间距相接近，每个电极片的中部各有一个抽气孔(6)，安装板的中心有一个通孔(4)，下部与真空连接头相连，电极板固定在安装板的上表面上，电极板上的抽气孔位于安装板上的通孔的上方。将被测试的片式频率器件芯片放置在两片电极片上，电极片上的抽气孔的负压吸力将片式频率器件芯片吸住，并使其电极与电极片相紧贴，测试仪器即可通过引出电极对其进行电性能测试。

主权项

一种片式频率器件芯片电性能测试夹持装置，其特征是它包括电极板(1)、安装板(2)和真空连接头(3)，电极板为一块环氧树脂覆铜板，电极板的上表面有一对电极片(5)和一对引出电极(7)，电极片(5)的宽度与被测试的片式频率器件芯片的电极的宽度相接近，两电极片之间的间距与被测试的片式频率器件芯片的电极之间的间距相接近，每个电极片的中部各有一个抽气孔(6)，每个电极片各与一个引出电极(7)相连，安装板的中心有一个通孔(4)，此通孔的下部与真空连接头(3)密封相连，电极板固定在安装板的上表面上，电极板上的抽气孔(6)位于安装板上的通孔的上方。