[实用新型]一种功率半导体器件结电容测试装置有效
| 申请号： | 201120221050.4 | 申请日： | 2011-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN202141762U | 公开（公告）日： | 2012-02-08 |
| 发明（设计）人： | 陆江;朱阳军;苏江 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种功率半导体器件结电容测试装置，包括结电容测试电路板，结电容测试电路板包括：两个输入电容测试点，其中，第一输入电容测试点通过短路电容与电源连接点相连，电源连接点与漏极测试点相连，第二输入电容测试点通过偏置电感接地；反馈电容测试点接地；输出电容测试点与栅极测试点相连，并通过阻断电阻与源极测试点相连；与电源连接点相连的高电压电流连接点和与栅极测试点相连的低电压电流连接点。本实用新型实施例提供的功率半导体器件结电容测试装置，将测试不同电容参数时的电路设置于同一电路板中，并根据需要选择测试的电容参数连通相应的测试点，简化了测试工作，提高了测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功率 半导体器件 电容 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种功率半导体器件结电容测试装置，其特征在于，包括结电容测试电路板，所述结电容测试电路板包括：两个输入电容测试点，其中，第一输入电容测试点通过短路电容与电源连接点相连，所述电源连接点与漏极测试点相连，第二输入电容测试点通过偏置电感接地；反馈电容测试点，所述反馈电容测试点接地；输出电容测试点，所述输出电容测试点与栅极测试点相连，并通过阻断电阻与源极测试点相连；与所述电源连接点相连的高电压电流连接点和与所述栅极测试点相连的低电压电流连接点。
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