[实用新型]加热器定位调整装置

摘要

本实用新型公开了一种加热器定位调整装置，用于调整位于腔体内的加热器的位置，腔体上设有腔体盖，加热器包括水平设置的加热盘和竖直设置的支撑杆，支撑杆的上端固定连接于加热盘的底部中心处，支撑杆的下端穿越腔体的底板并形成向下的延伸段，加热器定位调整装置包括对准机构和调整定位机构；对准机构包括观察镜和顶部中心处设有中心标记的加热器盖，所述观察镜设置在所述腔体盖的中心通孔处，所述观察镜的中心部位设有对准标记；所述调整定位机构设置在所述延伸段的外周。通过加热器盖上的中心标记和设置于腔体盖中心处的观察镜的对准标记进行校准，使得加热器始终安装在腔体的中心部位，提高晶圆表面沉积的薄膜的均匀性，进而提高产品良率。

主权项

一种加热器定位调整装置，用于调整位于腔体内的加热器的位置，所述腔体上设有腔体盖，所述加热器包括水平设置的加热盘和竖直设置的支撑杆，所述支撑杆的上端固定连接于所述加热盘的底部中心处，所述支撑杆的下端穿越所述腔体的底板并形成向下的延伸段，其特征在于，所述加热器定位调整装置包括对准机构和调整定位机构；所述对准机构包括观察镜和顶部中心处设有中心标记的加热器盖，所述观察镜设置在所述腔体盖的中心通孔处，所述观察镜的中心部位设有对准标记；所述调整定位机构设置在所述延伸段的外周。