[实用新型]一种湿度检测装置有效
申请号: | 201120248083.8 | 申请日: | 2011-07-13 |
公开(公告)号: | CN202126423U | 公开(公告)日: | 2012-01-25 |
发明(设计)人: | 卢昱 | 申请(专利权)人: | 北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G01N27/00 | 分类号: | G01N27/00 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100176 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型实施例公开了一种湿度检测装置,涉及湿度检测技术领域,为防止在薄膜晶体管的生产过程中出现像素不良而发明。所述湿度检测装置包括:传动单元、湿度感应单元、信号处理单元;所述传动单元,用于控制所述湿度感应单元与基板接触;所述湿度感应单元,用于当与所述基板接触时,检测所述基板的湿度,当所述基板的湿度高于预设湿度时,根据所述基板的湿度生成湿度信号,并将所述湿度信号发送给所述信号处理单元;所述信号处理单元,用于根据来自所述湿度感应单元的湿度信号生成湿度提示信号,以提示所述基板的湿度情况。本实用新型实施例主要用于薄膜晶体管的生产过程中。 | ||
搜索关键词: | 一种 湿度 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种湿度检测装置,其特征在于,包括:传动单元、湿度感应单元、信号处理单元;所述传动单元,用于控制所述湿度感应单元与基板接触;所述湿度感应单元,用于当与所述基板接触时,检测所述基板的湿度,当所述基板的湿度高于预设湿度时,根据所述基板的湿度生成湿度信号,并将所述湿度信号发送给所述信号处理单元;所述信号处理单元,用于根据来自所述湿度感应单元的湿度信号生成湿度提示信号,以提示所述基板的湿度情况。
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