[实用新型]一种全自动三次光检机的光检装置有效
| 申请号： | 201120263741.0 | 申请日： | 2011-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN202189022U | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 林宜龙;陈薇;戚长政;唐召来;黄水清;林清岚;王能翔 | 申请（专利权）人： | 格兰达技术（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/89 | 分类号： | G01N21/89;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人： | 齐永红;常春 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区龙华大浪同富*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种全自动三次光检机的光检装置，该装置由高倍工业相机、光照系统和跟踪移动机构组成；高倍工业相机、光照系统安装在与跟踪移动机构有连接关系的竖直安装板上，可随移动机构指令移动到需要抓拍芯片的位置。跟踪移动机构由可使竖直安装板沿两个垂直方向移动的滚轴丝杠传动机构组成，即可使竖直安装板带动相机和同轴光系统部分沿料条的长度和宽度两个方向移动，以便对料条上的每一块芯片进行抓拍。本实用新型的有益效果在于，光照系统安装在与跟踪移动机构有连接关系的竖直安装板上，可随跟踪移动机构指令移动到需要抓拍芯片的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 全自动 三次 光检机 装置 | ||
【主权项】：
一种全自动三次光检机的光检装置，其特征在于：包括：性能和作用基本相同的两个相机(602)和两个同轴光发生器(601)分别自上至下安装在各自的竖直安装板(603)上；竖直安装板(603)通过横向安装板(604)和连接板(605)与光照系统安装板(606)固联；光照系统安装板(606)与和X方向导轨(607)由滑动配合的X方向滚轴丝杠传动螺母(610)固联，位置感应片(609)与光照系统安装板(606)固联，与位置感应片(609)对应的两个感应器(608)分别安装在X方向导轨(607)上，且位于位置感应片(609)的左、右两侧；光照系统安装板(606)与Y方向滚轴丝杠传动件(613)固联，而Y方向滚轴丝杠传动件(613)通过同步带传送装置(618)和Y方向传动伺服电机(614)耦接；Y方向传动件安装架(616)固装在轴承座(615)上方，Y方向滚轴丝杠传动件(613)安装在安装架(616)中。
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