[实用新型]湿法刻蚀设备

摘要

本实用新型公开了一种湿法刻蚀设备，涉及液晶显示技术领域，解决了现有刻蚀罐中的石英管加热棒在与刻蚀罐侧壁的接头处容易受到刻蚀药液腐蚀，导致的刻蚀罐泄漏问题。本实用新型实施例中，由于加热装置为内部具有热介质流通通道的耐腐蚀盘管，热介质流经通道时，通过耐腐蚀盘管的管壁将热量传递给刻蚀罐内的刻蚀药液，从而起到了加热刻蚀药液的效果。另外，由于耐腐蚀盘管的两端穿过刻蚀罐上的穿孔延伸至刻蚀罐外，且耐腐蚀盘管能防止刻蚀药液对管壁的腐蚀，因此，耐腐蚀盘管与刻蚀罐的接头处不会受到刻蚀药液的腐蚀，因而也不会发生刻蚀罐泄漏现象。本实用新型实施例主要用于制造液晶显示面板。

主权项

一种湿法刻蚀设备，包括盛放刻蚀药液的刻蚀罐及固定在所述刻蚀罐内的加热装置，其特征在于，所述加热装置为内部具有热介质流通通道的耐腐蚀盘管，所述耐腐蚀盘管的两端穿过所述刻蚀罐上的穿孔延伸至所述刻蚀罐外。