[实用新型]一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置

摘要

本实用新型提供一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置，包括：内设有空腔的把手、大盖板、至少一个小盖板、上固定板和下固定板；所述把手一端设有一与所述空腔连通的气嘴，此把手下表面设有至少一个与所述空腔连通的第一通气孔；所述小盖板上设有第一凹槽，此第一凹槽底部与小盖板上表面之间设有与所述第一通气孔相应的第二通气孔，此第二通气孔与所述第一通气孔通过气体连接管连通；大盖板设有第二凹槽；所述上固定板上表面设有第三凹槽和限位凸台；此上固定板上表面与所述大盖板下表面接触从而由所述第二凹槽和第三凹槽形成第二空腔。本实用新型改善晶粒损伤、提高产品良率、提高生产效率、提高产品可靠性、降低社会资源的损耗，达到环保生产。

主权项

一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置，其特征在于：包括：内设有空腔的把手（1）、大盖板（2）、至少一个小盖板（3）、上固定板（4）和下固定板（5）；所述把手（1）一端设有一与所述空腔连通的气嘴（6），此把手（1）下表面设有至少一个与所述空腔连通的第一通气孔（7）；所述小盖板（3）上设有第一凹槽（8），此第一凹槽（8）底部与小盖板（3）上表面之间设有与所述第一通气孔（7）相应的第二通气孔（9），此第二通气孔（9）与所述第一通气孔（7）通过气体连接管（10）连通；大盖板（2）设有第二凹槽（11），此大盖板（2）的上表面与所述小盖板（3）的下表面接触从而由所述第一凹槽（8）形成第一空腔，此第二凹槽（11）底部与大盖板（2）上表面之间设有连通所述第一空腔的第三通气孔（12）；所述上固定板（4）上表面设有与所述第二凹槽（11）相应的第三凹槽（13）和位于此第三凹槽（13）一侧并位于所述上固定板（4）下表面的限位凸台（14）；此上固定板（4）上表面与所述大盖板（2）下表面接触从而由所述第二凹槽（11）和第三凹槽（13）形成第二空腔；此第三凹槽（13）底部与上固定板（4）下表面之间设有若干个连通所述第二空腔的第四通气孔（15），此第四通气孔内（15）固定地设置有固定气嘴（16），所述限位凸台（14）具有螺丝孔；所述下固定板设有与所述第四通气孔（15）相应的通孔（17）和螺丝沉头孔（18），一活动气嘴（19）嵌入此通孔（17），此活动气嘴（19）一端用于吸附位于所述石墨舟上半导体晶粒，其另一端与固定气嘴（16）之间通过软管（20）连通；一螺丝旋入所述限位凸台（14）的螺丝孔和螺丝沉头孔（18）内，从而固定所述上固定板（4）和下固定板（5）并形成一定的距离。