[实用新型]定向式圆柱磁控溅射靶

摘要

本实用新型涉及一种定向式圆柱磁控溅射靶，广泛应用于各种涂层的制备设备中，属于薄膜制备技术领域。本实用新型包括靶材、条形永磁体、极靴和120°环形永磁体，其中条形永磁体沿靶的轴向嵌于极靴内，120°环形永磁体安装在极靴的两个端头。其中条形永磁体总共有4列，分为三列溅射工作用条形永磁体和一列清靶工作用条形永磁体。本实用新型的优点是：通过后面的单条清靶工作用永磁体磁钢产生的磁场，在靶材非溅射工作区域形成弱溅射区，由此实现非溅射工作区域的靶材清理工作，提高了溅射过程的稳定性，使得生产过程更为安全、可靠。

主权项

一种定向式圆柱磁控溅射靶，其特征在于：包括靶材、极靴、三列溅射工作用条形永磁体、一列清靶工作用条形永磁体和两个环形永磁体，其中：所述的三列溅射工作用条形永磁体沿极靴的周向间隔分布，并沿极靴的轴向嵌入极靴内，所述的三列溅射工作用条形永磁体的极性一致；所述的两个环形永磁体的中心角均介于90°～150°之间，并均沿极靴的周向嵌入极靴内；其中两条溅射工作用条形永磁体的两端与所述的两个环形永磁体的两端首尾循环连接起来，构成一个封闭框体；余下的一列溅射工作用条形永磁体位于该封闭框体外，并与形成该封闭框体的两条溅射工作用条形永磁体距离相同的中心角角度；所述的清靶工作用条形永磁体也沿极靴的轴向嵌入极靴内，并与该余下的一列溅射工作用条形永磁体呈180°对称分布设置，该清靶工作用条形永磁体位于该封闭框体内，并且该清靶工作用条形永磁体的两端均不与所述的两个环形永磁体相接触；所述的两个环形永磁体与所述的三列溅射工作用条形永磁体的极性相同，所述的清靶工作用条形永磁体与所述的三列溅射工作用条形永磁体的极性相反。