[实用新型]探针卡检测装置

摘要

本实用新型公开了一种探针卡检测装置，该探针卡检测装置以控制单元控制第一滑台、第二滑台及第三滑台在平台上的滑动，且控制影像撷取单元撷取影像，而令影像撷取单元撷取探针卡所有接脚位置，并以量测软件自动判断接脚位置是否正确，若接脚位置错误，可由显微镜观测单元观测错位的接脚并校正，藉此实现本实用新型更准确地检测探针卡以及更快速、方便地校正探针卡接脚的目的。

主权项

一种探针卡检测装置，其特征在于，它包括：一机台，该机台上具有一平台，该平台上设有一第一滑台，该第一滑台上设有一第二滑台，该第一滑台与第二滑台在该平台上以二维坐标系统的X轴与Y轴正交平移，在该第二滑台上设有一供受测的探针卡放置的固定座；一影像撷取单元，该影像撷取单元结合在一第三滑台上，该第三滑台滑动地设在一伫立在该平台上的第一支架上，而令该影像撷取单元在该平台上纵向地滑动；一控制单元，该控制单元用以控制该第一滑台、第二滑台及该第三滑台在平台上的滑动，且控制该影像撷取单元撷取影像，并该控制单元内建有一量测软件，影像撷取单元撷取探针卡所有接脚位置并以该量测软件判断接脚位置是否正确；一观测装置，该观测装置在校正探针卡的错位接脚时观测，该观测装置包括一移动结构及一显微镜观测单元，该移动结构架设在一伫立于该平台上的第二支架上，且该显微镜观测单元随该移动结构在该平台上以二维坐标系统的X轴与Y轴正交平移。