[实用新型]热偶真空计有效
| 申请号： | 201120294062.X | 申请日： | 2011-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN202177485U | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 陈亮 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/14 | 分类号： | G01L21/14 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种热偶真空计，该种热偶真空计包括管基、管壳、芯柱、加热丝、热电偶和支撑杆，所述支撑杆封装在芯柱上，管壳和芯柱封装在管基上，所述管壳的另一端设有连接真空腔室的连接管，所述管壳与连接管的接合处设有过滤件。所述过滤件能屏蔽掉等离子体进入热偶真空计。所述热偶真空计能应用于强等离子体真空环境下，所述热偶真空计具有结构简单、成本低、故障率低、使用寿命强的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 真空计 | ||
【主权项】：
一种热偶真空计，包括管基、管壳、芯柱、以及设于管壳内的压力感应件，所述压力感应件封装在芯柱上，所述管壳和芯柱封装在管基上，所述管壳的另一端设有连接真空腔室的连接管，其特征在于：所述管壳与连接管的接合处设有过滤件。
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