[实用新型]研磨装置有效
| 申请号： | 201120294220.1 | 申请日： | 2011-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN202174490U | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 陈枫 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型的研磨装置包括研磨平台、研磨装置控制台、样品输送管和金属离子检测仪；所述样品输送管的一端靠近所述研磨平台，所述样品输送管的另一端与所述金属离子检测仪连接；所述金属离子检测仪与所述研磨装置控制台连接。本实用新型的研磨装置带有金属离子检测仪，可实时判断研磨绝缘介质层时是否研磨到金属硅化物层。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨装置，包括研磨平台和研磨装置控制台，其特征在于，所述研磨装置还包括样品输送管和金属离子检测仪；其中，所述样品输送管的一端靠近所述研磨平台，所述样品输送管的另一端通过所述金属离子检测仪与所述研磨装置控制台连接。
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