[实用新型]双波纹管结构的化学气相沉积设备

摘要

一种双波纹管结构的化学气相沉积设备，包括反应气体导入部件、反应腔体、上盖部件、闸板阀、固定底板、上下升降板驱动部件、上下波纹管、载片盘、石英罩、加热器，所述气体导入部件经上升降板驱动控制升降运动；加热器经下升降板驱动控制升降运动；载片盘经下升降板驱动控制升降运动；上升降板和下升降板升降运动过程中分别由上波纹管和下波纹管保证反应腔体密封；上盖支撑上设有闸板阀可供外部机械手装卸圆片用。本实用新型的优点是反应气体气体导入部件、加热器、载片盘均能进行升降运动，既能为化学气相沉积工艺进行反应腔体高度调节，也能为设备维修拆卸提供便利，上盖支撑上设置的闸板阀也能为外部机械手自动装卸圆片提供窗口。

主权项

一种双波纹管结构的化学气相沉积设备，包括：反应气体导入部件(1)、反应腔体(2)、腔体上盖(4)、上盖支撑(5)、闸板阀(6)、固定底板(11)、上升降板驱动(23)、上升降板驱动杆(26)、上升降板导柱(7)、上升降板(28)、上波纹管(3)、气体导入部件支撑(27)、下升降板驱动(22)、下升降板驱动杆(21)、下升降板导柱(12)、下升降板(13)、下波纹管(14)、载片盘支撑(17)、石英罩(20)、载片盘(16)、加热器支撑(18)、加热器(19)和反应腔壳体(25)，其特征在于反应气体导入部件(1)由反应气体导入部件支撑(27)固定支撑，反应气体导入部件支撑(27)与上升降板(28)固定连接，反应气体导入部件支撑(27)上设有上波纹管(3)，上波纹管(3)与腔体上盖(4)连接，载片盘(16)通过石英罩(20)和载片盘支撑(17)固定在下升降板(13)上，加热器(19)通过加热器支撑(18)固定在下升降板(13)上，下升降板(13)连接下波纹管(14)，底板(11)上设有上升降板驱动(23)、上升降板驱动杆(26)、上升降板导柱(7)、下升降板驱动(22)、下升降板驱动杆(21)及下升降板导柱(12)。