[实用新型]用于太阳能电池制造湿制程蚀刻工序的硝酸回收装置有效
| 申请号： | 201120340103.4 | 申请日： | 2011-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN202226923U | 公开（公告）日： | 2012-05-23 |
| 发明（设计）人： | 刘海;涂清华;钱大成;毕向彬 | 申请（专利权）人： | 无锡德鑫太阳能电力有限公司;无锡尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C23F1/16;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;郭迎侠 |
| 地址： | 214028 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于太阳能电池制造湿制程蚀刻工序的硝酸回收装置，包括用于蚀刻设备的第一槽体和第二槽体，所述第一槽体包括用于盛放硝酸的添加桶和第一酸液槽；所述第二槽体包括用于盛放硝酸的第二酸液槽；所述第二槽体还包括一与所述第二酸液槽连通的酸液回收槽，所述酸液回收槽还与所述第一槽体的所述添加桶连通。本实用新型的硝酸回收装置将蚀刻后清洗设备的酸液循环输送至需要使用硝酸的蚀刻设备，节省了化学品用量。并且相比较于直接将蚀刻后清洗设备的酸液随意排放的方式，缩减了废水处理成本，降低了环境污染的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 太阳能电池 制造 湿制程 蚀刻 工序 硝酸 回收 装置 | ||
【主权项】：
一种用于太阳能电池制造湿制程蚀刻工序的硝酸回收装置，包括用于蚀刻设备的第一槽体和第二槽体，所述第一槽体包括用于盛放硝酸的添加桶和第一酸液槽；所述第二槽体包括用于盛放硝酸的第二酸液槽；其特征在于，所述第二槽体还包括一与所述第二酸液槽连通的酸液回收槽，所述酸液回收槽还与所述第一槽体的所述添加桶连通。
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