[实用新型]输送起伏式的化学浴沉积设备有效
| 申请号： | 201120359364.0 | 申请日： | 2011-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN202465875U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 游柏清;蓝受龙;李玟澄 | 申请（专利权）人： | 亚智科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C18/00 | 分类号： | C23C18/00 |
| 代理公司： | 北京华夏博通专利事务所(普通合伙) 11264 | 代理人： | 刘俊 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种输送起伏式的化学浴沉积设备，一种输送起伏式的化学浴沉积设备，其特征在于，包含有：一浴槽，用以盛放有一溶液；以及一传送单元，具有多个输送滚轮，设置于该浴槽中用以传送一药液盒，其中，该多个输送滚轮以高低起伏的排列方式而配置其主要用于在制作太阳能电池的基板上沉积至少一层薄膜，其中本实用新型的化学浴沉积设备利用高低起伏的基板传送方式，使药液可均匀地扩散并覆盖于基板的各处上，以使薄膜可以全面且均匀地于成长于基板上，进而提升薄膜厚度的均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 起伏 化学 沉积 设备 | ||
【主权项】：
一种输送起伏式的化学浴沉积设备，其特征在于，包含有：一浴槽，用以盛放有一溶液；以及一传送单元，具有多个输送滚轮，设置于该浴槽中用以传送一药液盒，其中，该多个输送滚轮以高低起伏的排列方式而配置。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
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