[实用新型]用于单晶炉的真空封闭结构有效
申请号: | 201120377282.9 | 申请日: | 2011-10-09 |
公开(公告)号: | CN202297846U | 公开(公告)日: | 2012-07-04 |
发明(设计)人: | 葛亮;杨永录;贺贤汉 | 申请(专利权)人: | 上海汉虹精密机械有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人: | 缪利明 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶炉技术领域的用于单晶炉的真空封闭结构,包括:隔离阀阀板,隔离阀阀板与隔离阀阀体固定连接,还包括:中空环形压板组件、压紧环和封闭片,中空环形压板组件与隔离阀阀体固定连接,封闭片的压入段放置于压板组件的压固段上,压紧环设置于封闭片的压入段与隔离阀阀体之间,封闭片的固定段与隔离阀阀体面接触,所述的封闭片的固定段嵌入于隔离阀阀体的凹槽中。本实用新型实现了对上炉筒的真空密封,且结构简单,加工方便。 | ||
搜索关键词: | 用于 单晶炉 真空 封闭 结构 | ||
【主权项】:
一种用于单晶炉的真空封闭结构,包括:隔离阀阀板,隔离阀阀板与隔离阀阀体固定连接,其特征在于,还包括:中空环形压板组件、压紧环和封闭片,其中:中空环形压板组件与隔离阀阀体固定连接,封闭片的压入段放置于压板组件的压固段上,压紧环设置于封闭片的压入段与隔离阀阀体之间,封闭片的固定段与隔离阀阀体面接触,所述的封闭片的固定段嵌入于隔离阀阀体的凹槽中;所述的封闭片为环状结构,该封闭片的固定段和压入段之间设有密封段。
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