[实用新型]一种晶圆激光打标机的自动送料机构有效
申请号: | 201120386771.0 | 申请日: | 2011-10-12 |
公开(公告)号: | CN202278843U | 公开(公告)日: | 2012-06-20 |
发明(设计)人: | 闵大勇;卢飞星;孙绍文;王伟 | 申请(专利权)人: | 武汉华工激光工程有限责任公司 |
主分类号: | B41J11/00 | 分类号: | B41J11/00 |
代理公司: | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人: | 秦士魁 |
地址: | 430223 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶圆激光打标机的自动送料机构,其安装于晶圆激光打标机上,该自动送料机构包括有能带动晶圆进行上下移动的工装升降装置、能抓取晶圆并将晶圆水平移送到打标位置下方的晶圆抓取装置以及能将晶圆抬高到适合激光打标高度的晶圆升降装置。借由本实用新型的晶圆激光打标机的自动送料机构,可以提高激光打标机的工作效率,该送料机构具有稳定、高效、安全等优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 打标机 自动 机构 | ||
【主权项】:
一种晶圆激光打标机的自动送料机构,其安装于晶圆激光打标机上,其特征在于,该自动送料机构包括有能带动晶圆进行上下移动的工装升降装置、能抓取晶圆并将晶圆水平移送到打标位置下方的晶圆抓取装置以及能将晶圆抬高到适合激光打标高度的晶圆升降装置。
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