[实用新型]用于晶体生长的铜电极有效
| 申请号： | 201120393590.0 | 申请日： | 2011-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN202359238U | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 吕立强 | 申请（专利权）人： | 上海朗兆机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 缪利明 |
| 地址： | 200235 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型用于晶体生长的铜电极，包括：底板，在所述底板内设有水道；电极长轴，所述电极长轴的一端所述底板的一端连接；电极短轴，所述电极短轴的一端所述底板的另外一端连接；本实用新型用于晶体生长的铜电极采用工业纯铜中的无氧铜，具有优良的导电性、导热性、延展性和耐蚀性。尤其导电性能非常好。电极采用中空水冷结构，保证水路与真空腔体的隔离。电极长轴和电极短轴也采用中空结构，与底板采用焊接连接，同时中空腔贯通，保证水流畅通。电极长轴、电极短轴与底板连接部位焊前采用螺纹配合定位，减小焊接变形量。电极长轴、电极短轴为圆形结构，与加热电源输出端排连接，便于调整中心距的偏差，易于安装拆卸。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 晶体生长 电极 | ||
【主权项】：
用于晶体生长的铜电极，其特征在于，包括：底板，在所述底板内设有水道；电极长轴，所述电极长轴的一端与所述底板的一端连接；电极短轴，所述电极短轴的一端与所述底板的另外一端连接。
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