[实用新型]石墨晶舟调整装置有效

专利信息
申请号: 201120411974.0 申请日: 2011-10-25
公开(公告)号: CN202339906U 公开(公告)日: 2012-07-18
发明(设计)人: 陈昆楷 申请(专利权)人: 广运机械工程股份有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 代理人: 余刚;吴孟秋
地址: 中国*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种石墨晶舟调整装置,包括一车体、一旋转模块、一作业平台、一滑动平台、一前辅助定位上盖及一后辅助定位上盖,车体上方设有一旋转模块,作业平台通过该旋转模块设置于车体,作业平台前端设有一前枢接部,后端设有一后枢接部,滑动平台以一线性滑轨与该作业平台相连,滑动平台上间隔地设置有多条第一定位条,前辅助定位上盖一端具有一前连接部,与该作业平台上的前枢接部枢接,前辅助定位上盖内侧间隔地设置有多条第二定位条,后辅助定位上盖一端具有一后连接部,与作业平台上的后枢接部枢接,后辅助定位上盖内侧间隔地设置有多条第三定位条。本实用新型的石墨晶舟调整装置克服石墨板与定位条间的余隙问题,进而提高石墨晶舟组装的可靠度。
搜索关键词: 石墨 调整 装置
【主权项】:
一种石墨晶舟调整装置,其特征在于,所述石墨晶舟调整装置包括:一车体,所述车体设有一旋转模块;一作业平台,所述作业平台通过所述旋转模块设置于所述车体,所述作业平台前端设有一前枢接部,所述作业平台后端设有一后枢接部;一滑动平台,所述滑动平台以一线性滑轨与所述作业平台相连,所述滑动平台上间隔地设置有多条第一定位条;一前辅助定位上盖,所述前辅助定位上盖一端具有一前连接部,所述前连接部与所述作业平台上的所述前枢接部枢接,所述前辅助定位上盖内侧间隔地设置有多条第二定位条;以及一后辅助定位上盖,所述后辅助定位上盖一端具有一后连接部,所述后连接部与所述作业平台上的所述后枢接部枢接,所述后辅助定位上盖内侧间隔地设置有多条第三定位条。
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