[实用新型]真空设备的输送装置及其转动单元

摘要

一种真空设备的输送装置及其转动单元，用于输送一片基板进出该真空设备，并包含一个平行该基板的一侧边的连架，及安装在该真空设备的一侧壁与该连架间的至少一个移动机构与一个转动机构。该移动机构可带动该连架相对于该侧壁移近或远离该基板。该转动机构包括数个转动单元，每一转动单元都具有一个固定安装于该侧壁的壳座、一个可转动地安装在该壳座中的转轴，及一个可随着该连架移动或被该转轴带动旋转的第一滚轮。通过所述转动单元能相对该真空设备伸缩移动的设计，使得本实用新型能提高作业自由度，并能适用于输送各种尺寸的基板。

主权项

一种真空设备的输送装置，该真空设备包含一个界定出一个作业空间的真空腔体，该真空腔体具有两个位于该作业空间的两相对侧的侧壁，输送装置是两个相对地安装在所述侧壁，且用于输送一片基板沿着侧壁的长向进出该作业空间，该基板具有两个相反且分别邻近于所述侧壁的侧边，而该输送装置包含一个转动机构，该转动机构包括数个彼此间隔地安装在该侧壁的转动单元，每一转动单元都具有一个固定安装于该侧壁的壳座、一个安装在该壳座中且可被驱动而绕着一条垂直于该侧边的轴线转动的转轴，及一个被该转轴带动旋转的第一滚轮；其特征在于：该输送装置还包含一个位于所对应侧壁与基板的侧边间且供第一滚轮安装的连架，及至少一个安装在该侧壁与该连架间且可带动该连架相对于该侧壁移动的移动机构。