[实用新型]一种用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器有效
| 申请号： | 201120447127.X | 申请日： | 2011-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN202334945U | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 张振厚;赵崇凌;李士军;张健;张冬;洪克超;徐宝利;钟福强;陆涛;许新;王刚;刘兴;郭玉飞;王学敏;李松 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/20 | 分类号： | H05B3/20;H01L21/205 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及平板加热器，具体地说是一种用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器，包括至少一个加热平板，在该加热平板上至少设有一个辐射加热线圈，在所述辐射加热线圈对应的加热温区上连接有控制该加热温区温度的温控表；所述辐射加热线圈镶嵌于加热平板中，在加热平板上覆盖有金属板。本实用新型结构简单、成本低，易于实现，节省空间，加热均匀；各辐射加热线圈可独立控温；本实用新型在加热平板上覆盖有金属板，可以防止氮化硅沉积到加热平板1的表面，起保护作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶体 太阳能 pecvd 装备 多区控温 平板 加热器 | ||
【主权项】：
一种用于晶体硅太阳能PECVD装备的多区控温平板加热器，其特征在于：包括至少一个加热平板(1)，在该加热平板(1)上至少设有一个辐射加热线圈，在所述辐射加热线圈对应的加热温区上连接有控制该加热温区温度的温控表。
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