[实用新型]具有多组式晶圆电镀结构体的组合改良设备有效
| 申请号： | 201120509776.8 | 申请日： | 2011-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN202465918U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 温进浪 | 申请（专利权）人： | 温进浪 |
| 主分类号： | C25D7/12 | 分类号： | C25D7/12;C25D17/00;C25D17/06 |
| 代理公司： | 北京中伟智信专利商标代理事务所 11325 | 代理人： | 张岱 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种具有多组式晶圆电镀结构体的组合设备，利用马达以连接管连接加热器、分流管、电子流量计、手动阀、电镀槽结构体、连接管及过滤器所组成的改良设备，至少一电镀槽结构体以上，其电镀槽结构体内装设有导电结构组体、孔状分布板及注水头组合结构体所组成，而该电镀槽结构体的内部两侧面装设有一对相向的注水头组合结构体、孔状分布板及导电结构组体，两导电结构组体之间装设夹具头，其底部装设一循环回流管再与过滤器相互连接，而该分流管以连接管可以作串连式多组式电镀槽设备的组合，当晶圆在电镀槽结构内进行电镀加工可以提高作业的效率及结省工时。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 多组式晶圆 电镀 结构 组合 改良 设备 | ||
【主权项】：
一种具有多组式晶圆电镀结构体的组合改良设备，系利用马达以连接管连接加热器、分流管、电子流量计、手动阀、电镀槽结构体、循环回流管及过滤器所组成的改良设备，其特征在于，电镀槽结构体中两侧装设有导电结构组体、夹具头、孔状分布板及注水头组合结构体所组成，其中，导电结构组体：系以孔状环状板与电解体所组成；注水头组合结构体：系由注水管连接注水头相互组成；夹具头：系装设在中央处，上述，孔状板连接数组注水头组合结构体电镀液并经过孔状分布板的孔洞喷向夹具结构组体。
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