[实用新型]离子束孔径调整装置有效
| 申请号： | 201120513867.9 | 申请日： | 2011-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN202363410U | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 何春雷;王俊;周正明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子束孔径调整装置，包括两块调整块，所述调整块之间设有用于调整两块调整块之间缝隙大小的调节部件，所述离子束孔径调整装置还包括两可拆卸块，所述两块调整块的相对侧分别设有一凹口，所述凹口分别与所述可拆卸块的大小和形状相对应。在调整块容易被离子束侵蚀的部位设置可拆卸块，在维护时，只需更换新的可拆卸块，不需要更换整个调整块，因此可以节约大笔费用，有效降低了维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 孔径 调整 装置 | ||
【主权项】：
一种离子束孔径调整装置，包括两块调整块，所述调整块之间设有用于调整两块调整块之间缝隙大小的调节部件，其特征在于，还包括两可拆卸块，所述两块调整块的相对侧分别设有一凹口，所述凹口分别与所述可拆卸块的大小和形状相对应。
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