[实用新型]硅片用托举件有效
| 申请号： | 201120572218.6 | 申请日： | 2011-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN202384380U | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | 齐海洋;于春瑶 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种硅片用托举件，位于承载基板上，用于托举待镀膜的硅片。该硅片用托举件包括：定位部，其包括第一夹壁和第二夹壁，第一夹壁和第二夹壁之间形成与所述承载基板相配合的夹槽；位于该定位部底侧的托举部，该托举部包括第一托臂和第二托臂，第一托臂和第二托臂分别外伸于所述第一夹壁和第二夹壁的外侧面，且所述第一托臂和第二托臂的顶面均向远离所述夹槽的一端倾斜。上述硅片用托举件，与硅片的接触面为侧面，该侧面不需要镀膜，第一托臂和第二托臂与硅片的待镀膜面之间留有间隙，即该硅片用托举件未与硅片的待镀膜面接触，从而减小了对硅片镀膜的影响，减小了硅片表面颜色不一致的区域，进而提高了硅片的镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 托举 | ||
【主权项】：
一种硅片用托举件，位于承载基板(26)上，用于托举待镀膜的硅片(27)，其特征在于，包括：定位部，所述定位部包括第一夹壁(21)和第二夹壁(24)，所述第一夹壁(21)和第二夹壁(24)之间形成与所述承载基板(26)相配合的夹槽(23)；位于所述定位部底侧的托举部，所述托举部包括第一托臂(22)和第二托臂(25)，所述第一托臂(22)和第二托臂(25)分别外伸于所述第一夹壁(21)和第二夹壁(24)的外侧面，且所述第一托臂(22)和第二托臂(25)的顶面均向远离所述夹槽(23)的一端倾斜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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