[实用新型]一种单晶炉排气装置有效
| 申请号： | 201120574911.7 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202415734U | 公开（公告）日： | 2012-09-05 |
| 发明（设计）人： | 周浩 | 申请（专利权）人： | 英利能源（中国）有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B13/00;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种单晶炉排气装置，该排气装置包括：设置在保护层上方的反射板，所述反射板设置在所述加热器的正下方；其中，所述反射板包括上下反射板，并且该反射板上设置有贯穿上下反射板的通孔，所述通孔内设置有导气管，所述导气管与靠近反射板的炉体抽气口连通，并且，所述导气管的形状和大小与所述通孔的形状相匹配。在进行排气时，硅蒸汽直接通过与所述抽气口连通的导气管排出炉体，即硅蒸汽从反射板上方排出炉体的，从而避免了硅蒸汽在反射板下方工件附件的凝结；同时，避免了排气时反射板对气流的遮挡，从而保证了排气时气流的通畅，避免了炉内气体压强产生较大的波动，保证单晶硅的产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 排气装置 | ||
【主权项】：
一种单晶炉排气装置，所述单晶炉包括炉体和铺设在所述炉体底部的保护层，其特征在于，该排气装置包括：设置在所述保护层上方的反射板，所述反射板设置在所述加热器的正下方；其中，所述反射板包括上下反射板，并且该反射板上设置有贯穿上下反射板的通孔，所述通孔内设置有导气管，所述导气管与靠近反射板的炉体抽气口连通，并且，所述导气管的形状和大小与所述通孔的形状相匹配。
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