[实用新型]直线式卷绕真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201120576466.8 | 申请日： | 2011-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN202465859U | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/04;C23C16/54;C23C16/04 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种直线式卷绕真空镀膜装置，包括呈直线式排列的多个真空室，任意相邻的两个真空室之间设有通孔，第一个真空室为放卷室，最后一个真空室为收卷室，放卷室和收卷室之间设有镀膜室；放卷室内设置放卷辊，收卷室内设置收卷辊；放卷室与其相邻的真空室之间设有第一真空锁，收卷室与其相邻的真空室之间设有第二真空锁。本直线式卷绕真空镀膜装置呈直直线式，可根据工艺的实际需要增加或减少真空室个数，使用方便，薄膜在加工过程中呈直线状，因此该装置可以适用于硬度各不相同的的多种薄膜镀膜，其适用范围广，设备维护时，可针对单个真空室进行单独维护，其维护成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 直线 卷绕 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
直线式卷绕真空镀膜装置，其特征在于，包括呈直线式排列的多个真空室，任意相邻的两个真空室之间设有通孔，第一个真空室为放卷室，最后一个真空室为收卷室，放卷室和收卷室之间设有镀膜室；放卷室内设置放卷辊，收卷室内设置收卷辊；放卷室与其相邻的真空室之间设有第一真空锁，收卷室与其相邻的真空室之间设有第二真空锁。
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