[发明专利]玻璃基板的不均率测量系统及方法无效
申请号: | 201180000191.6 | 申请日: | 2011-02-25 |
公开(公告)号: | CN102713583A | 公开(公告)日: | 2012-10-03 |
发明(设计)人: | 李淳钟;禹奉周;朴丙澯;崔成振;郑载勋 | 申请(专利权)人: | 塞米西斯科株式会社 |
主分类号: | G01N21/958 | 分类号: | G01N21/958;G01B11/30 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 臧建明 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明涉及一种在被玻璃基板反射的反射光中仅利用被上面反射的光以测量所述玻璃基板的不均率的系统及方法,从而减少测量时间和费用。所述玻璃基板的不均率测量系统,包括:光源部,向所述玻璃基板照射第一光;以及屏幕。其中,以所述玻璃基板为基准排列所述光源部和所述屏幕,以使从所述光源部照射的第一光被所述玻璃基板的上面和下面反射、使被所述玻璃基板的上面反射的第一反射光入射至所述屏幕形成第一条带、以及使被所述玻璃基板的下面反射并且经由所述上面输出的第二反射光入射至所述屏幕形成第二条带,所述第一条带和所述第二条带分离而成。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 不均 测量 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种玻璃基板的不均率测量系统,其特征在于,包括:向所述玻璃基板照射第一光的光源部;以及屏幕,其中,以所述玻璃基板为基准排列所述光源部和所述屏幕,以使从所述光源部照射的第一光被所述玻璃基板的上面和下面反射、使被所述玻璃基板的上面反射的第一反射光入射至所述屏幕形成第一条带、以及使被所述玻璃基板的下面反射并且经由所述上面输出的第二反射光入射至所述屏幕形成第二条带,所述第一条带和所述第二条带分离而成。
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