[发明专利]基板收纳装置

摘要

本发明提供一种基板收纳装置。该基板收纳装置根据使用环境有效地防止异物附着在被收纳的基板上。基板收纳装置包括：供气部（110），其用于向基板收纳装置（100）内引入外部空气；排气部（120），其与供气部相对配置；基板载置板（140），其设在供气部与排气部之间，具有连通该供气部和该排气部的连通孔（142）；供气过滤器（112），其设在供气部；鼓风机（122），其设在供气部或排气部，该基板收纳装置将状态传感器、微粒带电装置和调温装置中的任一个或状态传感器、微粒带电装置和调温装置中的两个以上的组合装卸自如地设于安装孔（150），该状态传感器用于检测基板收纳装置（100）内的状态（图2）。

主权项

一种基板收纳装置，其用于收纳基板，其特征在于，该基板收纳装置包括：供气部，其用于将外部空气引入到上述基板收纳装置内；排气部，其与上述供气部相对配置；基板载置板，其设在上述供气部与上述排气部之间，具有将上述供气部与上述排气部之间连通的连通孔；供气过滤器，其设在上述供气部；鼓风机，其设在上述供气部或上述排气部，该基板收纳装置装卸自如地设有状态传感器、微粒带电装置和调温装置中的任一个或装卸自如地设有状态传感器、微粒带电装置和调温装置中的两个以上的组合，该状态传感器用于检测上述基板收纳装置内的状态。