[发明专利]每个平台研磨站的多载具头中的研磨制程的调节

摘要

说明了一种用于在一或更多载具头中不设有基板时模拟正于每个平台站的多载具头中进行研磨的一基板的方法与设备。在一实施例中，一种用于处理一基板的方法包含：提供一单一基板至一研磨站，该研磨站用以利用至少一第一载具头与一第二载具头而于一单一研磨垫片上处理复数个基板；将该单一基板固定于该第一载具头中，同时该第二载具头保持清空；将该第一载具头与该第二载具头推向该研磨垫片的一研磨表面；以及提供该研磨垫片与该第一载具头间的相对运动。

主权项

一种对一处理站中的一基板的一研磨制程进行调节的方法，该处理站具有至少一第一载具头与一第二载具头，该第一载具头与该第二载具头用以利用一共同研磨垫片固定与处理一基板，该方法包含以下步骤：使一单一基板固定在置于该第一载具头上的一第一固定环中，同时该第二载具头系保持清空；将该第一载具头与该单一基板推向该研磨垫片的一研磨表面，同时使置于该第二载具头上的该第二固定环接触该研磨表面，该第二载具头保持清空；提供该单一基板与该研磨垫片间的相对运动；以及改变该第二固定环对该研磨垫片的一压力与该第二载具头相对于该研磨垫片的一旋转速度中至少一者。