[发明专利]压电薄膜谐振器、通信模块、通信装置

摘要

简单地降低不需要的寄生波。越靠近上部电极（45）与下部电极（43）的相对区域的中心部越密集配置质量负载膜（51）中的岛图案（51a），越靠近相对区域的外周部越稀疏配置质量负载膜（51）中的岛图案（51a），由此，能够廉价地实现降低了不需要的寄生波的特性优良的压电薄膜谐振器。即，将质量负载膜（51）的岛图案（51a）在相对区域的中心部密集配置，在相对区域的外周部稀疏配置，这模拟地与将中心部的膜密度设为较高，将外周部的膜密度设为较低相等。结果，引起作为主振动的厚度纵向振动以外的不需要的寄生波的、横向弹性波的锁定效应减小，从而降低不需要的寄生波。

主权项

一种压电薄膜谐振器，该压电薄膜谐振器具有：基板；下部电极，其配置在所述基板的上方；压电膜，其配置在所述下部电极的上方；以及上部电极，其隔着所述压电膜的至少一部分而与所述下部电极相对配置，其中，所述压电薄膜谐振器具有配置在所述上部电极的上方的质量负载膜，所述质量负载膜至少在与所述下部电极相对的区域形成有多个凹凸图案，所述凹凸图案以在所述区域的中心部密集配置，在所述区域的外周部稀疏配置的方式形成。