[发明专利]基板处理系统及基板传送方法

摘要

本发明涉及一种基板处理系统及基板传送方法，其通过使用线性排列的两行处理室之间提供的基板传送装置，通过双向传送一基板，能够提高基板传送效率，以及通过旋转基板传送装置将基板传送至一精确位置，此种基板处理系统包括：传送室，具有至少一个双向基板传送装置，用以双向传送基板；以及数个处理室，在传送室两侧直列地配置，并对基板进行半导体制造过程。其中至少一个双向基板传送装置包括：移动单元，设置于传送室的内部，并通过直线电动机可水平移动；双向基板传送单元，设置于移动单元之中，并将基板通过双向滑动运动传送至处理室；以及旋转单元，设置于移动单元与双向基板传送单元之间，并按照预定角度旋转双向基板传送单元。

主权项

一种基板处理系统，其特征在于，包括：传送室，具有至少一个双向基板传送装置，用以双向传送基板；以及数个处理室，在所述传送室两侧直列地配置，并对所述基板进行半导体制造过程，其中所述至少一个双向基板传送装置包括：移动单元，设置于所述传送室的内部，并通过直线电动机可水平移动；双向基板传送单元，设置于所述移动单元之中，并将所述基板通过双向滑动运动传送至所述处理室；以及旋转单元，设置于所述移动单元与所述双向基板传送单元之间，并按照预定角度旋转所述双向基板传送单元。