[发明专利]n型扩散层形成组成物、n型扩散层的制造方法及太阳能电池元件的制造方法有效
申请号: | 201180018428.3 | 申请日: | 2011-04-22 |
公开(公告)号: | CN102834898A | 公开(公告)日: | 2012-12-19 |
发明(设计)人: | 野尻刚;吉田诚人;冈庭香;町井洋一;岩室光则;足立修一郎;佐藤铁也;木泽桂子 | 申请(专利权)人: | 日立化成工业株式会社 |
主分类号: | H01L21/225 | 分类号: | H01L21/225;C03C8/18;H01L31/04 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 蒋亭 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种n型扩散层形成组成物,其构成含有包含施主元素且软化温度为300℃~950℃的玻璃粉末和分散介质。通过涂布该n型扩散层形成组成物,实施热扩散处理,可制造n型扩散层及具有n型扩散层的太阳能电池元件。 | ||
搜索关键词: | 扩散 形成 组成 制造 方法 太阳能电池 元件 | ||
【主权项】:
一种n型扩散层形成组成物,其含有玻璃粉末和分散介质,所述玻璃粉末包含施主元素且软化温度为300℃~950℃。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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