[发明专利]收集器反射镜组件以及用于产生极紫外辐射的方法有效
| 申请号： | 201180019319.3 | 申请日： | 2011-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN102859442A | 公开（公告）日： | 2013-01-02 |
| 发明（设计）人： | D·兰贝特斯基;E·鲁普斯特拉;A·凯姆鹏 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05G2/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种收集器反射镜组件(302)包括：包括反射表面(304)的收集器反射镜(co’)和具有边缘(308)的孔(306)。所述孔延伸通过反射表面。所述组件还包括管状主体(310)，所述管状主体(310)具有内表面(312)和外表面(314)。所述管状主体构造和布置成沿着大致横向于反射表面的方向引导气流(GF)。所述管状主体的外表面和孔的边缘形成开口(316)，所述开口布置成引导另外的气流(GF’)，所述另外的气流与大致横向于反射表面的气流分开。 | ||
| 搜索关键词： | 收集 反射 组件 以及 用于 产生 紫外 辐射 方法 | ||
【主权项】：
一种收集器反射镜组件，包括：具有反射表面的收集器反射镜和具有边缘的孔，所述孔延伸通过反射表面；管状主体，所述管状主体延伸通过所述孔，所述管状主体具有内表面和外表面，所述管状主体构造和布置成沿着大致横向于反射表面的方向引导主气流；和开口，在管状主体的外表面和孔的边缘之间，所述开口布置成引导另外的气流，所述另外的气流与所述主气流分开。
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