[发明专利]硬盘用铝硅酸盐玻璃基板的制造方法有效
申请号: | 201180019525.4 | 申请日: | 2011-04-19 |
公开(公告)号: | CN102858494A | 公开(公告)日: | 2013-01-02 |
发明(设计)人: | 土居阳彦;内野阳介;西本和彦 | 申请(专利权)人: | 花王株式会社 |
主分类号: | B24B37/00 | 分类号: | B24B37/00;C09K3/14;G11B5/84 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 龚敏 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种硬盘用铝硅酸盐玻璃基板的制造方法,包括使用研磨液组合物来研磨被研磨铝硅酸盐玻璃基板的工序,所述研磨液组合物含有二氧化硅粒子、具有磺酸基的聚合物、和水,并且所述具有磺酸基的聚合物的相对于铝硅酸盐玻璃的吸附常数为1.5~5.0L/g。所述具有磺酸基的聚合物优选为具有芳香族环的聚合物。所述具有磺酸基的聚合物的重均分子量优选为3000~100000。 | ||
搜索关键词: | 硬盘 硅酸盐 玻璃 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种硬盘用铝硅酸盐玻璃基板的制造方法,其特征在于,包括使用研磨液组合物来研磨被研磨铝硅酸盐玻璃基板的工序,所述研磨液组合物含有二氧化硅粒子、具有磺酸基的聚合物、和水,并且所述具有磺酸基的聚合物的相对于铝硅酸盐玻璃的吸附常数为1.5~5.0L/g。
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