[发明专利]卤素气体或卤素化合物气体的填充容器用阀有效
| 申请号： | 201180021294.0 | 申请日： | 2011-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN102884348A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 梅崎智典;田仲健二;八尾章史;宫崎达夫;毛利勇;川岛忠幸 | 申请（专利权）人： | 中央硝子株式会社 |
| 主分类号： | F16K7/12 | 分类号： | F16K7/12;F16J3/02;F16K1/30;F16K27/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种卤素气体或卤素化合物气体的填充容器用阀。根据本发明，直接接触型隔膜阀包括：阀主体，其设有入口通路和出口通路；阀室，其用于与阀主体的入口通路和出口通路相连通；阀座部，其设于入口通路的内端开口部；膜片，其设于阀座部的上方，用于保持阀室内的气密状态，并且用于开闭入口通路及出口通路；阀杆，其用于使膜片的中央部向下方下降；驱动部，其用于使阀杆沿上下方向移动，该直接接触型隔膜阀的特征在于，在阀座部与膜片相接触的接触面中，阀座部的接触面的表面粗糙度Ra的值为0.1μm～10.0μm，阀座部的接触面的曲率半径R为100mm～1000mm，膜片与阀座部相接触的接触面积Sb同膜片的气体接触部表面积Sa的面积比率Sb/Sa为0.2％～10％。本发明的阀具有充分的气密性，可以较佳地用作卤素气体或卤素化合物气体用的填充容器用阀。 | ||
| 搜索关键词： | 卤素 气体 化合物 填充 容器 | ||
【主权项】：
一种直接接触型隔膜阀，该直接接触型隔膜阀包括：阀主体，其设有入口通路和出口通路，卤素气体或卤素化合物气体在该阀主体内部流通；阀室，其用于与阀主体的入口通路和出口通路相连通；阀座部，其设于入口通路的内端开口部；膜片，其设于阀座部的上方，用于保持阀室内的气密状态，并且用于开闭入口通路及出口通路；阀杆，其用于使膜片的中央部向下方下降；驱动部，其用于使阀杆沿上下方向移动，该直接接触型隔膜阀的特征在于，在阀座部与膜片相接触的接触面中，阀座部的接触面的表面粗糙度Ra的值为0.1μm～10.0μm，阀座部的接触面的曲率半径R为100mm～1000mm，膜片与阀座部相接触的接触面积Sb同膜片的气体接触部表面积Sa的面积比率Sb/Sa为0.2％～10％。
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