[发明专利]包括校准系统的图案生成器有效
| 申请号： | 201180022403.0 | 申请日： | 2011-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN103038707A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | A.斯文森;F.琼森 | 申请（专利权）人： | 麦克罗尼克迈达塔有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 曲莹 |
| 地址： | 瑞典*** | 国省代码： | 瑞典;SE |
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| 摘要： | 一种图案生成器包括：写入工具和校准系统。写入工具构造成在布置于台架上的工件上生成图案。校准系统构造成用以确定写入工具的坐标系与台架和工件其中一个上的校准板的坐标系之间的相关性。校准系统也可构造成至少部分地基于光学相关性信号或图案来确定相关性，所述信号或图案为从校准板表面上的至少一幅图案反射的至少一条光束形式。 | ||
| 搜索关键词： | 包括 校准 系统 图案 生成器 | ||
【主权项】：
一种图案生成器，包括：写入工具，构造成用以在布置于台架上的工件上生成图案；以及校准系统，构造成用以确定所述写入工具的坐标系与所述台架和所述工件其中一个上的校准板的坐标系之间的相关性；其中，所述校准系统进一步构造成用以至少部分地基于光学相关性信号或图案来确定所述相关性，所述信号或图案为从校准板表面上的至少一幅反射图案反射的至少一条光束的形式。
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