[发明专利]印刷电路板的检查装置

摘要

一种印刷电路板的检查装置，其照射与焊盘、抗蚀剂等的特性相对应的光来进行精度优良的检查。在印刷电路板（7）的检查装置（1）中，具备：红色LED（32），其配置于相对于摄像机（6）成为明视场照明的第一角度；第二色光源（4），其为由绿色的荧光灯进行的扩散照明；及第三色光源（5），其由配置于相对于摄像机（6）成为暗视场照明的第三角度的蓝色LED构成，使用所述第一色光源（3）～第三色光源（5）的光并由摄像机（6）拍摄印刷电路板（7）的图像，使用来自作为所述明视场照明的红色LED（32）的光产生的图像来检查焊盘表面的伤痕（71b）、凹痕（71c）、有无变色。另外，利用由来自作为绿色的扩散照明的荧光灯的光产生的图像来检查焊盘（71）的轮廓（71a）的形成状态。进而，使用来自蓝色LED即第三色光源（5）的图像来检查抗蚀剂（72）的积存、缺陷，另外，检查抗蚀剂下图案的断线、短路等。

主权项

一种印刷电路板的检查装置，其检查形成于印刷电路板的焊盘、抗蚀剂的形成状态，其特征在于，所述印刷电路板的检查装置具备：第一色光源，其配置于相对于摄像机成为明视场照明的第一角度；第二色光源，其为由荧光灯进行的扩散照明；及第三色光源，其配置于相对于摄像机成为暗视场照明的第三角度，使用所述第一色光源～第三色光源的光并由摄像机拍摄印刷电路板的图像，所述印刷电路板的检查装置具备：第一检查单元，使用所述第一色光源的图像来检查焊盘表面有无损伤；第二检查单元，使用作为所述扩散照明的第二色光源的图像来检查焊盘轮廓的形成状态；及第三检查单元，使用所述第三色光源的图像来检查抗蚀剂的形成状态。