[发明专利]蒸镀方法、蒸镀装置以及有机EL显示装置

摘要

依次配置蒸镀源(60)、多个控制板(80)和蒸镀掩模(70)。使基板(10)相对于蒸镀掩模以隔开一定间隔的状态相对地移动。从蒸镀源的蒸镀源开口(61)被放出的蒸镀颗粒(91)通过相邻的控制板间空间(81)，并且通过形成于蒸镀掩模的掩模开口(71)，附着在基板而形成覆膜(90)。覆膜的至少一部分由通过相互不同的两个以上的控制板间空间的蒸镀颗粒形成。由此，能够形成抑制了端缘的模糊和厚度不均的覆膜。

主权项

一种蒸镀方法，其特征在于：所述蒸镀方法是在基板上形成规定图案的覆膜的蒸镀方法，所述蒸镀方法具有使蒸镀颗粒附着于所述基板上而形成所述覆膜的蒸镀工序，在所述蒸镀工序中，使用包括蒸镀源、蒸镀掩模和多个控制板的蒸镀单元，其中该蒸镀源包括放出所述蒸镀颗粒的蒸镀源开口，该蒸镀掩模配置于所述蒸镀源开口与所述基板之间，该多个控制板在所述蒸镀源开口与所述蒸镀掩模之间沿与所述基板的法线方向正交的第一方向配置，在所述蒸镀工序中，在使所述基板与所述蒸镀掩模隔开一定间隔的状态下，一边使所述基板和所述蒸镀单元中的一个相对于另一个沿与所述基板的法线方向和所述第一方向正交的第二方向相对地移动，一边使通过在所述第一方向相邻的控制板间空间和在所述蒸镀掩模形成的多个掩模开口的所述蒸镀颗粒附着于所述基板，所述覆膜的至少一部分由通过相互不同的两个以上的控制板间空间的蒸镀颗粒形成。