[发明专利]压印用复制模的制造方法有效
| 申请号： | 201180030095.6 | 申请日： | 2011-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN102947073A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 熊泽和久;芝田大干 | 申请（专利权）人： | 日本曹达株式会社 |
| 主分类号： | B29C59/02 | 分类号： | B29C59/02;B29C33/38;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 金世煜;苗堃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种廉价且在强度、柔软性等方面具有良好特性的压印用复制模的制造方法。本发明的复制模的制造方法具有以下的工序。（A）在基材上涂布有机无机复合材料的工序，（B）通过热和/或电磁波使涂布面半固化制成微细凹凸图案形成用基材的工序，（C）利用压印法将形成有规定的微细凹凸图案的母模挤压在该微细凹凸图案形成用基材上来转印微细凹凸图案的工序，以及（D）对转印的该微细凹凸图案形成用基材照射电磁波而使其固化的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 复制 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种复制模的制造方法，其特征在于，具有以下工序：（A）在基材上涂布有机无机复合材料的工序，（B）通过热和/或电磁波使涂布面半固化，制成微细凹凸图案形成用基材的工序，（C）利用压印法将形成有规定的微细凹凸图案的母模挤压在该微细凹凸图案形成用基材上来转印微细凹凸图案的工序，（D）对转印的该微细凹凸图案形成用基材照射电磁波从而使其固化的工序。
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