[发明专利]用于磁控管的端帽、其制造方法以及磁控管有效
| 申请号： | 201180035073.9 | 申请日： | 2011-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN103003909A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 森冈勉;青山齐 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝;东芝高新材料公司 |
| 主分类号： | H01J23/04 | 分类号： | H01J23/04 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 陈松涛;王英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 公开了用于磁控管的端帽，其由Mo烧结体构成，其特征在于：范围为从Mo烧结体的表面至距此100μm的深度的表面区域具有30ppm或更少的碳含量，并且范围为从Mo烧结体的厚度方向上的中心部分至距此±100μm的距离的中心区域具有50至300ppm或更少的碳含量。通过减少表面区域中的碳含量，可以改善长期可靠性。可以以高的成品率制造具有长期可靠性的端帽。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 磁控管 制造 方法 以及 | ||
【主权项】：
一种由Mo烧结体构成的用于磁控管的端帽，其特征在于：范围为从所述Mo烧结体的表面至距此100μm的深度的表面区域具有30ppm或更少的碳含量，范围为从Mo烧结体的厚度方向上的中心部分至距此±100μm的距离的中心区域具有50至300ppm或更少的碳含量。
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