[发明专利]显示面板的制造方法以及显示面板有效
申请号: | 201180037873.4 | 申请日: | 2011-11-16 |
公开(公告)号: | CN103210698A | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
发明(设计)人: | 七井识成;宫本明人;受田高明 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | H05B33/10 | 分类号: | H05B33/10;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/22 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 周春燕;段承恩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 显示面板的制造方法包括:在第1层上形成构成第2层的感光性材料的层的子工序;在感光性材料的层上配置光掩模的子工序,所述光掩模的光透射性在俯视与预定形成第2开口部的部位重叠的第1区域和其以外的第2区域不同;以及经由光掩模对构成第2层的感光性材料的层进行曝光的子工序;俯视下光掩模的第1区域的面积比第1层的第1开口部的面积大。 | ||
搜索关键词: | 显示 面板 制造 方法 以及 | ||
【主权项】:
一种显示面板的制造方法,包括:准备在上表面形成有电极的基底基板的工序;在所述基底基板上形成第1层的工序,所述第1层在俯视与所述电极重叠的位置具有第1开口部;在所述第1层上形成第2层的工序,所述第2层在俯视与所述第1开口部重叠的位置具有第2开口部;以及在所述第1以及第2开口部的内部形成与所述电极接触的布线层的工序;所述第2层包含感光性材料;形成所述第2层的工序包括:在所述第1层上形成构成所述第2层的感光性材料的层的子工序;在所述感光性材料的层上配置光掩模的子工序,所述光掩模的光透射性在俯视与预定形成所述第2开口部的部位重叠的第1区域和其以外的第2区域不同;以及经由所述光掩模对构成所述第2层的感光性材料的层进行曝光的子工序;俯视下所述光掩模的所述第1区域的面积比所述第1层的所述第1开口部的面积大。
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